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0PT-1800A全自動(dòng)光學(xué)鍍膜設(shè)備

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
產(chǎn)品應(yīng)用
AR/AF、分光膜、高反射膜、其它光學(xué)薄膜
產(chǎn)品特點(diǎn)
◆ 配備多點(diǎn)晶振傳感器+膜厚控制儀
◆ 使用RF離子源
◆ 搭載雙電子槍、多點(diǎn)和環(huán)型坩堝
◆ 配置IGBT電源,穩(wěn)定、節(jié)能
◆ 電子槍配備光斑圖形控制器
◆ 利用自動(dòng)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)鍍膜
◆ 工件架可選配傘式或行星式
◆ 排氣系統(tǒng)可選配擴(kuò)散泵/分子泵+深冷捕集泵
產(chǎn)品參數(shù)
類別項(xiàng)目參數(shù)詳情
規(guī)格真空室SUS304,Φ1800mm×1920mm(H)
工件架尺寸Φ1600mm
工件架轉(zhuǎn)速0-30rpm (可變)
膜厚檢測(cè)裝置多點(diǎn)晶振傳感器 + 膜厚控制儀
蒸發(fā)源電子槍 2 套 + IGBT 電源
離子源23cm RF 離子源
排氣系統(tǒng)機(jī)械泵 + 分子泵(擴(kuò)散泵)+ 深冷捕集泵
性能極限真空度7.0×10??Pa 以下
排氣時(shí)間20min(大氣壓~1.3×10?3Pa)
基板溫度最高:350℃
工作條件設(shè)備尺寸約 5700mm (W)×7700mm (D)×4000mm (H)
電源3 相,380v,50Hz,總?cè)萘考s 150kVA
冷卻水水流量 11m3/h,溫度 20℃-25℃
空氣壓力0.6-0.7MPa 以上
重量約 13000kg