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OPT-1550A全自動(dòng)光學(xué)鍍膜設(shè)備

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
產(chǎn)品應(yīng)用
AR/AF、分光膜、高反射膜、其它光學(xué)薄膜
產(chǎn)品特點(diǎn)
· 轉(zhuǎn)架結(jié)構(gòu)是采用磁流體密封技術(shù)驅(qū)動(dòng)的中心回轉(zhuǎn)方式來(lái)確保鍍膜的穩(wěn)定性和均勻性
· 配置離子源以提高鍍膜層的**性，增加鍍膜層的附著性
· 光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)，電阻加熱蒸發(fā)源可依需求追加安裝
· 工件架可選擇鐘罩式或行星式
· 豐富的鍍膜種類
· 易于操作和維護(hù)
· 很高的工藝穩(wěn)定性
產(chǎn)品參數(shù)
類別項(xiàng)目參數(shù)詳情
規(guī)格真空室SUS304，Φ1550mm×1800mm(H)
工件架尺寸Φ1400mm
工件架轉(zhuǎn)速0-30rpm (可變)
膜厚檢測(cè)裝置多點(diǎn)晶振傳感器 + 膜厚控制儀
蒸發(fā)源電子槍 2 套 + IGBT 電源
離子源17/23 cm RF 離子源
排氣系統(tǒng)機(jī)械泵 + 分子泵（擴(kuò)散泵）+ 深冷捕集泵
性能極限真空度7.0×10??Pa 以下
排氣時(shí)間15min（大氣壓～1.3×10?3Pa）
基板溫度最高：350℃
工作條件設(shè)備尺寸約 5500mm (W)×7200mm (D)×3700mm (H)
電源3 相，380v,50Hz，總?cè)萘考s 120kVA
冷卻水水流量 11m3/h，溫度 20℃-25℃
空氣壓力0.6-0.7MPa 以上
重量約 11000kg